| 材料 |
滤芯 |
由模制 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜 |
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住房 |
电解抛光低硫 316L 不锈钢外壳 |
| 下游清洁度 |
粒子 |
小于 0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3）大于 0.01 μm |
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挥发物（银） |
<10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb） |
| 去除等级 |
≥0.0015微米 |
| 内部表面处理 |
WGMX（铜牌）MB XXXX |
≤20μin Ra |
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WGMX（银牌/铜牌+）MS XXX/XXX |
≤7μin Ra |
| 氦气泄漏等级 |
合格的 |
2 x 10 -10 atm-cc/秒 |
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已测试 |
1 x 10 -9 atm-cc/秒 |
运行条件
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最大入口压力
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银牌和铜牌 Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR ®兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig) |
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青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig) |
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青铜和青铜 Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok ®兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig) |
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最大前向压差 |
7 巴（102 磅/平方英寸） |
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最大反向压差 |
2.5 巴（36 磅/平方英寸） |
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最高工作温度 |
120°C (248°F) |
| 流量等级 |
参考性能数据 |
| 保修单 |
青铜 |
1年 |
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银 |
3年 |
| 颗粒保留 |
大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（以最具穿透力的颗粒尺寸为准） |