Entegris 过滤器

美国Entegris英特格Protego® Plus HT 和 HTX 净化器
  • 美国Entegris英特格Protego® Plus HT 和 HTX 净化器

  • 一体式净化器/过滤设备,可在关键的去离子水清洁应用中提供针对金属污染的终极保护。

    高效净化器,专为高达 80°C 的去离子水应用而设计
    所有技术节点均具有卓越的流速性能和污染物去除能力
    促进高温下快速启动和高产量
    高离子交换能力已证明具有优异的粒子性能,并且具有较低的金属萃取物和更少的晶圆上粒子

    应用

    Protego® Plus HT 和 HTX 净化器应用

    墨盒

    • 批量去离子水应用 
    • 工具点净化

    一次性用品

    • 使用点
    • 实验室规模

    规格

    HTX 10 英寸和 20 英寸墨盒 方面  
    一个
    10” 墨盒 242 毫米 (9.53") 225 毫米 (8.86") 264.6 毫米 (10.42 英寸)
    20” 墨盒 471 毫米 (18.54") 454 毫米 (17.87") 473.6 毫米 (18.65 英寸)
           
    HT 10 英寸和 20 英寸墨盒 一个
    10” 墨盒 262 毫米 (10.31") 245 毫米 (9.65") 264.6 毫米 (10.42 英寸)
    20” 墨盒 506 毫米 (19.92") 489 毫米 (19.25") 508.6 毫米 (20.02")
           
    HT 30” 墨盒   一个
    30” 墨盒 752.6 毫米 (29.63") 731 毫米 (28.78") 804.0 毫米 (31.64")

     

    产品规格
    材料 7nm:亲水性聚砜
        1 nm:非脱湿聚砜
      离子交换介质 聚乙烯
      支撑、芯、套管、端盖 聚丙烯 
      O 形环 封装氟聚合物 (E-FKM) 或 Kalrez ® 6375 UP
      Chemlock®钥匙 聚丙烯
    連接 墨盒 代码 0(2-222 O 型圈)
        代码 7(2-226 O 形圈/矛),适用于 30” HT
    工作条件 最大入口压力 0.34 兆帕(3.4 巴,50 磅/平方英寸)@ 25°C(77°F)
      最大正向压差 0.27 兆帕(2.7 巴,40 磅/平方英寸)@ 25°C(77°F)
        0.05 兆帕(0.5 巴,7 psid)@80°C(176°F)
      最大反向压差 0.27 兆帕(2.7 巴,40 磅/平方英寸)@ 25°C(77°F)
      最高工作温度 在上述条件下为 80°C (176°F)
    膜表面积 10” 墨盒 高度:0.52 平方米(  5.60平方英尺
        高温:0.93 平方米  10.01平方英尺
      20” 墨盒  高度:1.04 米2( 11.19 平方英尺
        重型推力:1.67 米2  (17.98平方英尺
      30” 墨盒 高度:1.56 米2  (16.79 平方英尺
    离子交换容量 10” 墨盒 HT:≥74毫克当量/单位
        HTX:≥110毫克当量/单位
      20” 墨盒 HT:≥148毫克当量/单位
        HTX:≥220毫克当量/单位
      30” 墨盒 HT:≥222毫克当量/单位
    LOGO

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