Entegris 过滤器

美国Entegris英特格Protego® Plus HT 和 HTX 净化器
  • 美国Entegris英特格Protego® Plus HT 和 HTX 净化器

  • 一体式净化器/过滤设备,可在关键的去离子水清洁应用中提供针对金属污染的终极保护。

    高效净化器,专为高达 80°C 的去离子水应用而设计
    所有技术节点均具有卓越的流速性能和污染物去除能力
    促进高温下快速启动和高产量
    高离子交换能力已证明具有优异的粒子性能,并且具有较低的金属萃取物和更少的晶圆上粒子

    应用

    Protego® Plus HT 和 HTX 净化器应用

    墨盒

    • 批量去离子水应用 
    • 工具点净化

    一次性用品

    • 使用点
    • 实验室规模

    规格

    HTX 10 英寸和 20 英寸墨盒 方面  
    一个 乙 碳
    10” 墨盒 242 毫米 (9.53") 225 毫米 (8.86") 264.6 毫米 (10.42 英寸)
    20” 墨盒 471 毫米 (18.54") 454 毫米 (17.87") 473.6 毫米 (18.65 英寸)
           
    HT 10 英寸和 20 英寸墨盒 一个 乙 碳
    10” 墨盒 262 毫米 (10.31") 245 毫米 (9.65") 264.6 毫米 (10.42 英寸)
    20” 墨盒 506 毫米 (19.92") 489 毫米 (19.25") 508.6 毫米 (20.02")
           
    HT 30” 墨盒   一个 乙 碳
    30” 墨盒 752.6 毫米 (29.63") 731 毫米 (28.78") 804.0 毫米 (31.64")

     

    产品规格
    材料 膜 7nm:亲水性聚砜
        1 nm:非脱湿聚砜
      离子交换介质 聚乙烯
      支撑、芯、套管、端盖 聚丙烯 
      O 形环 封装氟聚合物 (E-FKM) 或 Kalrez ® 6375 UP
      Chemlock®钥匙​ 聚丙烯
    連接 墨盒 代码 0(2-222 O 型圈)
        代码 7(2-226 O 形圈/矛),适用于 30” HT
    工作条件 最大入口压力 0.34 兆帕(3.4 巴,50 磅/平方英寸)@ 25°C(77°F)
      最大正向压差 0.27 兆帕(2.7 巴,40 磅/平方英寸)@ 25°C(77°F)
        0.05 兆帕(0.5 巴,7 psid)@80°C(176°F)
      最大反向压差 0.27 兆帕(2.7 巴,40 磅/平方英寸)@ 25°C(77°F)
      最高工作温度 在上述条件下为 80°C (176°F)
    膜表面积 10” 墨盒 高度:0.52 平方米(  5.60平方英尺)
        高温:0.93 平方米(  10.01平方英尺)
      20” 墨盒  高度:1.04 米2( 11.19 平方英尺)
        重型推力:1.67 米2  (17.98平方英尺)
      30” 墨盒 高度:1.56 米2  (16.79 平方英尺)
    离子交换容量 10” 墨盒 HT:≥74毫克当量/单位
        HTX:≥110毫克当量/单位
      20” 墨盒 HT:≥148毫克当量/单位
        HTX:≥220毫克当量/单位
      30” 墨盒 HT:≥222毫克当量/单位
    LOGO

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