Entegris 过滤器

QuickChange® NX 过滤器
  • QuickChange® NX 过滤器

  • QuickChange® NX 过滤器
    采用 28 nm 或更高技术节点,对水性、排气性、腐蚀性酸碱化学品进行高级过滤。可实现高流速和保留性能。

    应用

    QuickChange® NX 过滤器应用

    • 行业:半导体、平板显示器、数据存储、LED
    • 工艺:湿法蚀刻和清洗、磁头 - 湿法蚀刻和清洗、批量化学品输送
    • 化学:强酸、强碱、溶剂
    • 安装点:工具点、分配点、散装

    产品规格

    材料: 膜 预湿、不脱湿 PTFE       
      支持 肺动脉高压          
      对于滤芯          
      墨盒连接 代码 0 (AS568-222) O 型圈       
      墨盒 O 形圈 E-FKM、E-ETP、Chemraz ®或 Kalrez ®      
      钥匙(仅限带有 Chemlock ®钥匙的钥匙盒) 肺动脉高压          
      对于一次性过滤器          
      壳 肺动脉高压          
    保留评级: 15 纳米(NXT、NXE、NXF、NXG)
    30 纳米、0.05 µm、0.1 µm、0.2 µm(NXT、NXX、NXM、NXE)
         
    膜面积:   NXT  尼克       NXM         恩西埃         NXM 恩智浦半导体
      30纳米、0.05微米、0.1微米、0.2微米          
      4” – 0.5 平方米(
    5.4平方英尺)
    – – – –
      10 英寸 0.9 平方米(
    9.7平方英尺)
    1.3平方米(
    14平方英尺)
    1.8 平方米(
    19.4平方英尺)
    2.2 平方米(
    23.7平方英尺)
    – –
      20 英寸 1.8 平方米(
    19.4平方英尺)
    2.6 平方米(
    28平方英尺)
    3.6 平方米(
    38.8平方英尺)
    4.4 平方米(
    47.4平方英尺)
    – –
      30 英寸 2.7 平方米(
    29平方英尺)
    – – – – –
      15纳米            
      10 英寸 0.9 平方米(
    9.7平方英尺)
    _ _ 2平方米
    (21.5 平方英尺)
    2.4 平方米(
    25.8 平方英尺)
    3 平方米( 32.3平方英尺)
      20 英寸 1.8 平方米(
    19.4平方英尺)
    – – 4 平方米(
    43.1平方英尺)
    4.8 平方米(
    51.7平方英尺)
    6 平方米( 64.6平方英尺)
    最高工作条件: 最大工作压力 0.58 MPa (5.8 bar, 84 psi) @ 25°C (77°F)
    0.097 MPa (0.97 bar, 14 psi) @ 200°C (392°F)
      最大正向压差 0.44 MPa (4.4 bar, 64 psi) @ 25°C (77°F)
    0.05 MPa (0.52 bar, 7.5 psi) @ 200°C (392°F)
      最大反向压力 0.34 兆帕(3.45 巴,50 磅/平方英寸)@ 25°C (77°F)
      最高工作温度 200°C(392°F)
    金属可萃取物: 标准和 UCM-16:针对 23 种金属进行测试      
    其他可萃取物: 标准和 UCM-16:TOC、Cl、F          
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