Entegris 过滤器

QuickChange® NX 过滤器
  • QuickChange® NX 过滤器

  • QuickChange® NX 过滤器
    采用 28 nm 或更高技术节点,对水性、排气性、腐蚀性酸碱化学品进行高级过滤。可实现高流速和保留性能。

    应用

    QuickChange® NX 过滤器应用

    • 行业:半导体、平板显示器、数据存储、LED
    • 工艺:湿法蚀刻和清洗、磁头 - 湿法蚀刻和清洗、批量化学品输送
    • 化学:强酸、强碱、溶剂
    • 安装点:工具点、分配点、散装

    产品规格

    材料: 预湿、不脱湿 PTFE       
      支持 肺动脉高压          
      对于滤芯          
      墨盒连接 代码 0 (AS568-222) O 型圈       
      墨盒 O 形圈 E-FKM、E-ETP、Chemraz ®或 Kalrez ®      
      钥匙(仅限带有 Chemlock ®钥匙的钥匙盒) 肺动脉高压          
      对于一次性过滤器          
      肺动脉高压          
    保留评级: 15 纳米(NXT、NXE、NXF、NXG)
    30 纳米、0.05 µm、0.1 µm、0.2 µm(NXT、NXX、NXM、NXE)
         
    膜面积:   NXT  尼克       NXM         恩西埃         NXM 恩智浦半导体
      30纳米、0.05微米、0.1微米、0.2微米          
      4” 0.5 平方米
    5.4平方英尺
      10 英寸 0.9 平方米
    9.7平方英尺
    1.3平方米
    14平方英尺
    1.8 平方米
    19.4平方英尺
    2.2 平方米
    23.7平方英尺
      20 英寸 1.8 平方米
    19.4平方英尺
    2.6 平方米
    28平方英尺
    3.6 平方米
    38.8平方英尺
    4.4 平方米
    47.4平方英尺
      30 英寸 2.7 平方米
    29平方英尺
      15纳米            
      10 英寸 0.9 平方米
    9.7平方英尺
    _ _ 2平方米
    (21.5 平方英尺
    2.4 平方米
    25.8 平方英尺
    3 平方米 32.3平方英尺
      20 英寸 1.8 平方米
    19.4平方英尺
    4 平方米
    43.1平方英尺
    4.8 平方米
    51.7平方英尺
    6 平方米 64.6平方英尺
    最高工作条件: 最大工作压力 0.58 MPa (5.8 bar, 84 psi) @ 25°C (77°F)
    0.097 MPa (0.97 bar, 14 psi) @ 200°C (392°F)
      最大正向压差 0.44 MPa (4.4 bar, 64 psi) @ 25°C (77°F)
    0.05 MPa (0.52 bar, 7.5 psi) @ 200°C (392°F)
      最大反向压力 0.34 兆帕(3.45 巴,50 磅/平方英寸)@ 25°C (77°F)
      最高工作温度 200°C(392°F)
    金属可萃取物: 标准和 UCM-16:针对 23 种金属进行测试      
    其他可萃取物: 标准和 UCM-16:TOC、Cl、F          
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