AFC700 高质量流量控制器（Viton、Kalrez 密封）
MFC是Mass Flow Controller的缩写，它是一种使气瓶中的气体以用户所需的恒定流量流动的装置。尽管各个制造商的单位略有不同，但通常使用标准立方厘米每分钟 (SCCM)。
特点与优势
■ AFC770（高质量流量控制器）通常设计用于半导体固定，包括工业应用。
■ AFC770（高质量流量控制器）的满量程范围为51 SLM 至500 SLM。
■ AFC770（高质量流量控制器）的误差相当于满量程的1%。
■ AFC770（高质量流量控制器）被设计为需要很少预热时间的产品。
■ AFC770（高质量流量控制器）默认使用9 针D-sub 连接器。
■ AFC770（高质量流量控制器）可与GMC1200 等MFC 电源和显示单元一起使用。
产品
方面
规格
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全量程（N2 等效）
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51 SLM~ 500 SLM |
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最大入口压力
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150 磅/平方英寸
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正常工作压差
（MFC出口处的大气压力）
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45 至 75 psid
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控制范围
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满量程的 2% 至 100%
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准确度（模拟）
（包括非线性、迟滞、
和不可重复性（参考 760mmHg 和 0°c）
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满量程的±1.0%
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重复性
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满量程的±0.2%
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解决
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满量程的1.0%
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温度系数
零
跨度
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< FS 的 0.05%/°C
<满量程的 0.05%
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预热时间（达到稳态性能 FS 的 0.2% 以内）
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< 2 分钟
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控制器稳定时间
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< 2 秒
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压力系数
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< 读数/psi 的 0.02 %
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正常工作温度范围
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0°C 至 50°C
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所需输入电压
最大限度。启动时的电流（前 2 秒）
平静状态下的典型电流
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±15 VDC（±5% ）@200 mA
+13~30VDC( ±5% )@300mA（可选）
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设定点命令信号
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0 至 5 VDC（选项 4~20 mA）
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输出信号
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0 至 5 VDC （选项 4~20 mA）
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连接器类型 模拟
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9 针“D”型
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远程模式
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RS485、RS232
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接液材料
标准 可选
（密封件和阀座）
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316L 不锈钢、维申、 卡尔雷斯
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外部泄漏完整性 (scc/sec He)
通过关闭阀门
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<1×10(-9)
< FS 的 1.0%，在 40 psig 入口压力 下进入大气（为确保无流过，建议使用单独的正截止阀。）
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配件（兼容）
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世伟洛克 2 VCR，
1/2" 世伟洛克
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