AFC500/AFC600 质量流量控制器
AFC500/AFC600 质量流量控制器可控制气体的质量流量并根据给定的设定点控制流量。控制范围为满量程的 2% 至 100%，精度为满量程的 +/- 1%。
AFC 500 质量流量控制器的可用范围为 10 至 50,000 sccm（相当于 N2）
AFC 500 质量流量控制器可与互补的 ATOVAC 设备（GMC1200、GMC220、GMC300D、GMC50 型）连接，以显示相关信息并提供功率和设定点命令
特点与优势
■ 满量程流量范围为 10 sccm 至 50 slm，可实现精确且可重复的流量测量和控制
■ 模拟配置的满量程精度百分比
■ 数字配置的读数准确度百分比。
■ 快速预热时间可最大限度地减少昂贵的生产停机时间
■ 符合CE 标志
产品
方面
规格
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全量程（N2 等效）
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10 SCCM ~ 50 SLM |
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最大入口压力
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150 磅/平方英寸
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正常工作压差
（MFC出口处的大气压力）
10至5000标准立方厘米
10000 至 20000 标准立方厘米
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10 至 40 psid
15 至 40 psid
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控制范围
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满量程的 2% 至 100%
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准确度（模拟）
（包括非线性、迟滞、
和不可重复性（参考 760mmHg 和 0°c）
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满量程的±1.0%
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重复性
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满量程的±0.2%
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解决
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满量程的1.0%
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温度系数
零
跨度
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< FS 的 0.05%/°C
<满量程的 0.05%
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预热时间（达到稳态性能 FS 的 0.2% 以内）
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< 2 分钟
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控制器稳定时间
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< 2 秒
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压力系数
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< 读数/psi 的 0.02 %
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正常工作温度范围
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0°C 至 50°C
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所需输入电压
最大限度。启动时的电流（前 2 秒）
平静状态下的典型电流
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±15 VDC（±5% ）@200 mA
+15 ~ 24 VDC( ±5% ) @ 300 mA (选项)
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设定点命令信号
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0 至 5 VDC （选项 4~20 mA）
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输出信号
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0 至 5 VDC （选项 4~20 mA）
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连接器类型 模拟
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9 针“D”型
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| 远程模式 |
RS485、RS232 |
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接液材料
标准 可选
（密封件和阀座）
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