EG301增强型对流计
一般安装在真空室内,是读取真空室内实际压力的仪表,需要+24 VDC(也可以是15 VDC)电源。
EG301增强型对流真空计具有3~10 VDC信号输出,用于半导体工艺和真空设备。
特点与优势
■ 可进行多种压力测量(2.0 X 10-4 至760 Torr)。
■高精度并提高占地面积。
■提供模拟量输出,可直接连接PLC等设备进行显示。
■采用7段LED,可远距离读取。
■可使用RS-485 控制PC。
■提供两个设定点供外部设备和过程使用。
■维修成本低(更换传感器线)。
■可单独使用,无需控制器。
产品

方面

规格
身体的
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输入功率
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+24 VDC(可能为 15 VDC)
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输出功率
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+3 伏直流至 10 伏直流
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工作温度
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0~50℃
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压力范围
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2.0×10 -4 ~ 760 托
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展示窗
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7段LED
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显示单元
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托尔
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安装位置
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水平的
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灯丝
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铂金 99.999%
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法兰
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NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF、1/4 VCR 内螺纹、CF 法兰
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界面
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模拟输出,RS-485,2 个设定点
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