ATV3000 智能排气压力控制器
ATV3000 排气压力控制器用于控制真空室中的压力。
它还可以控制大范围的压力。
由于控制器和阀门一体制造，因此无需使用额外的控制器即可达到降低成本的效果。
特点与优势
■ ATV3000智能排气节流阀采用微步进电机和直接齿轮驱动器来提高阀门的分辨率。可半永久性使用。
■ ATV3000智能排气节流阀采用高扭矩电机，因此即使在大尺寸腔室中也可以安装真空管路（例如12英寸）。可以使用
■ ATV3000 智能排气节流阀体即使在加热至150°C 后也可使用。 (不包括密封型)
■ ATV3000 智能排气节流阀在FND 中显示挡板的位置，以便用户可以从外部检查阀门是否正在运行。
它的设计使其无需与设备分离即可进行检查。
■对于ATV3000智能排气节流阀，法兰形式可根据客户要求在订购时设定。 （法兰类型：ISO-NW、ASA、CF、JIS、KF）
■ ATV3000 智能排气节流阀仅在外部提供直流电源(+24VDC) 时才能使用。
产品
规格
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速度（打开到关闭）
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1.5秒
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解决
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1/12000
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驱动方式
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直接齿轮传动
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阀体最高工作温度
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标准0-100
可选：0 - 150（注1）
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阀门电机环境
工作温度
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-20 至 +40
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不同的压力
跨阀
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1 个大气压。最大 (15psig)
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轴封处外部泄漏
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1x10-8 秒/秒 He
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暴露于工艺中的材料
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标准：304 SS、氟橡胶（注 2）
可选：316 SS、氟橡胶（注 2）
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视觉位置指示器
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FD
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驱动输出扭矩
（使用型号 GPC3000 或 MKS 651 型）
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800 英寸盎司
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规格
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速度（打开到关闭）
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1.5秒
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解决
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1/24000
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驱动方式
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直接齿轮传动
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阀体最高工作温度
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标准0-100
可选：0 - 150（注1）
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阀门电机环境
工作温度
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-20 至 +40
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不同的压力
跨阀
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1 个大气压。最大 (15psig)
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轴封处外部泄漏
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1x10-8 秒/秒 He
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暴露于工艺中的材料
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标准：304 SS、氟橡胶（注 2）
可选：316 SS、氟橡胶（注 2）
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兼容控制器
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型号GPC3000
MKS 651、1651 型
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驱动输出扭矩
（使用型号 GPC3000 或 MKS 651 型）
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 +86 138-6184-0733
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