ATV1000全铁氟龙节流阀
ATV1000全聚四氟乙烯节流阀用于控制真空室中的压力。
ATV1000 全特氟龙（节流阀）设计与 GPC3000（自动压力控制器）兼容。
特别是，其特征在于其为POCL液体，被广泛用作半导体工艺制造设备的排出装置。
特点与优势
■ ATV1000全铁氟龙（节流阀）采用微步进电机和直接齿轮驱动器，提高阀门的分辨率。
可半永久性使用。
■ ATV1000全铁氟龙（节流阀）可与贵公司提供的GPC3000控制器连接使用，也可连接使用其他公司产品的控制器。
■ ATV1000全聚四氟乙烯（节流阀）采用聚四氟乙烯材料制成，专用于防污染。
产品
规格
|
速度（打开到关闭）
|
2.0秒
|
|
解决
|
1/24000
|
|
驱动方式
|
直接齿轮传动
|
|
阀门电机环境
工作温度
|
-20 至 +40
|
|
不同的压力
跨阀
|
1 个大气压。最大 (15psig)
|
|
轴封处外部泄漏
|
1x10-8 秒/秒 He
|
|
暴露于工艺中的材料
|
聚四氟乙烯、聚醚醚酮、氟橡胶
|
|
兼容控制器
|
型号GPC3000
MKS 651、1651 型
|
|
尺寸
|
i英寸特氟龙连接
|
|
全闭漏（100mmH2O）
|
3升/分钟
|