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Entegris 过滤器

Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在线气体过滤器

  • Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在线气体过滤器

  • Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在线气体过滤器是一款全金属气体过滤器，完全由 316L 不锈钢烧结过滤介质和 316L 不锈钢外壳构成。

    所有 316L 不锈钢部件均与大多数半导体工艺气体兼容
    由于特殊的清洁和高温烘烤，初始颗粒清洁度极佳，可减少气体管路启动时间
    高流量和低压降特性非常适合低蒸气压气体
    高颗粒去除效率提高产量
    提供迷你型和迷你 XL 型

    型号
    Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在线气体过滤器型号
    型号    配件尺寸    配件类型    长度
    WGMS02PRU    6.35 毫米（1/4 英寸）    录像机（毫米）    127 毫米（5.00 英寸）
    WGMS32PRU    12.7 毫米（1/2 英寸）    录像机（毫米）    133.5 毫米（5.26 英寸）
    WGMSA1HRU    6.35 毫米（1/4 英寸）    录像机（毫米）    84 毫米（3.31 英寸）

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