Wafergard® III NF-30 在线气体过滤器应用
注意：不建议与 CO、O 3和低浓度氢化物掺杂气体一起使用。
产品规格
| 材料 |
过滤膜 |
已获专利的烧结镍 |
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住房 |
电抛光 F20 不锈钢 |
| 下游清洁度 |
粒子* |
<0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/立方英尺) >0.01 微米 |
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挥发物** |
H2O、O2和THC的挥发性排气低于可检测限度（室温下通过 RGA 和 FID 测定） |
| 移除评级 |
≥0.0015 微米 |
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| 内部表面处理 |
≤5 微英寸 Ra |
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| 氦气泄漏率 |
合格的 |
2x10 -10 atm cc/秒 |
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已测试 |
1x10 -9 atm cc/秒 |
| 最大工作条件 |
最大入口压力： |
70 巴（1000 psi）@ 100°C（212°F） |
| 最大正向/反向压差： |
10 巴（150 磅/平方英寸） |
| 最高工作温度 |
惰性气体 |
35 bar (500 psi) 时温度为 400°C (752°F) |
| 腐蚀性和活性气体 |
70 bar (1000 psi) 时 50°C (122°F) |
| 保修单 |
5年 |
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| 颗粒保留 |
在 30 slpm 下，所有颗粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV) |
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在 75 slpm 下去除所有颗粒的效率超过 99.9999%（参考最具穿透力的颗粒大小） |
| 流速 |
参考流量曲线 |
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*颗粒洁净度符合 SEMASPEC 颗粒脱落测试方法 (#93021511A-STD) 的要求
**挥发性物质洁净度符合 SEMASPEC 测试方法的要求：THC 贡献 (#90120396B-STD)、水分贡献 (#90120397B-STD)、氧气贡献 (#90120398B-STD)