产品规格
材料 过滤膜 已获专利的烧结镍
住房 电抛光 F20 不锈钢
下游清洁度 粒子* <0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/立方英尺) >0.01 微米
挥发物** H2O、O2和THC的挥发性排气低于可检测限度（室温下通过 RGA 和 FID 测定）
移除评级 ≥0.0015 微米
内部表面处理 ≤5 微英寸 Ra
氦气泄漏率 合格的 2x10 -10 atm cc/秒
已测试 1x10 -9 atm cc/秒
最大工作条件 最大入口压力： 70 巴（1000 psi）@ 100°C（212°F）
最大正向/反向压差： 10 巴（150 磅/平方英寸）
最高工作温度 惰性气体 35 bar (500 psi) 时温度为 400°C (752°F)
腐蚀性和活性气体 70 bar (1000 psi) 时 50°C (122°F)
保修单 5年
颗粒保留 在 30 slpm 下，所有颗粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV)
在 75 slpm 下去除所有颗粒的效率超过 99.9999%（参考最具穿透力的颗粒大小）
流速 参考流量曲线
*颗粒洁净度符合 SEMASPEC 颗粒脱落测试方法 (#93021511A-STD) 的要求
**挥发性物质洁净度符合 SEMASPEC 测试方法的要求：THC 贡献 (#90120396B-STD)、水分贡献 (#90120397B-STD)、氧气贡献 (#90120398B-STD)