产品规格
|
材料
|
过滤膜
|
已获专利的烧结镍
|
|
|
住房
|
电抛光 F20 不锈钢
|
|
下游清洁度
|
粒子*
|
<0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/立方英尺) >0.01 微米
|
|
|
挥发物**
|
H2O、O2和THC的挥发性排气低于可检测限度（室温下通过 RGA 和 FID 测定）
|
|
移除评级
|
≥0.0015 微米
|
|
|
内部表面处理
|
≤5 微英寸 Ra
|
|
|
氦气泄漏率
|
合格的
|
2x10 -10 atm cc/秒
|
|
|
已测试
|
1x10 -9 atm cc/秒
|
|
最大工作条件
|
最大入口压力：
|
70 巴（1000 psi）@ 100°C（212°F）
|
|
最大正向/反向压差：
|
10 巴（150 磅/平方英寸）
|
|
最高工作温度
|
惰性气体
|
35 bar (500 psi) 时温度为 400°C (752°F)
|
|
腐蚀性和活性气体
|
70 bar (1000 psi) 时 50°C (122°F)
|
|
保修单
|
5年
|
|
|
颗粒保留
|
在 30 slpm 下，所有颗粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV)
|
|
|
在 75 slpm 下去除所有颗粒的效率超过 99.9999%（参考最具穿透力的颗粒大小）
|
|
流速
|
参考流量曲线
|
|
*颗粒洁净度符合 SEMASPEC 颗粒脱落测试方法 (#93021511A-STD) 的要求
**挥发性物质洁净度符合 SEMASPEC 测试方法的要求：THC 贡献 (#90120396B-STD)、水分贡献 (#90120397B-STD)、氧气贡献 (#90120398B-STD)