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美国Entegris英特格Chambergard™ 快速通风扩散器WG3D25SR2
  • 美国Entegris英特格Chambergard™ 快速通风扩散器WG3D25SR2

  • 美国Entegris英特格Chambergard™ 快速通风扩散器WG3D25SR2
    通过减少负载锁和传输室中的颗粒和排气时间来提高效率和吞吐量。

    获得专利的烧结镍技术在所有应用中均能提供卓越的性能
    设计能够去除进入气体中大于 0.0015 µm 的颗粒,从而最大限度地减少晶圆缺陷
    提供快速排气,不会干扰晶圆或向晶圆添加颗粒,从而缩短循环时间并提高产量
    将扩散器的流动特性与高效过滤器相结合,以提高效率和吞吐量
    轻松改造/安装到现有工具中,最大限度地减少停机时间
    应用Chambergard™ 快速通风扩散器应用
    • 快速将气体排放到大气中,而不会干扰或向腔室内的晶圆添加颗粒

    规格

    产品规格
    材料 扩散器元件:已获专利的烧结镍膜过滤器
      外壳:316L不锈钢
      内部表面光洁度:≤32 μin Ra
    表现 下游清洁度:额定流量下清洁度小于 0.03 个颗粒/升(<1 个颗粒/立方英尺大于 0.01 μm
      去除率:≥0.0015μm
      可靠性:在 25°C (77°F) 时最大额定入口压力下具有 100,000 次循环可靠性
    连接 请参阅数据表
    工作条件 请参阅数据表

    零件编号

    Chambergard™ 快速通风扩散器零件编号
    零件编号 O型圈尺寸 O型圈槽外径 出口连接类型 O型圈槽内径 O型圈槽深 工作条件,最大入口压力,出口为真空 工作条件,最大压差 工作条件,最高工作温度 入口连接类型
    SI2P134R5 没有任何 没有任何 排队 没有任何 没有任何 0.5 兆帕(75 磅/平方英寸) 0.24 兆帕(35 磅/平方英寸) 带 O 形圈时为 100° C (212° F),不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4英寸 VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D16TR2 2-117 26.4 毫米(1.03 英寸) ISO NW-16,舱壁安装与标准 ISO 舱壁夹具兼容 20.3 毫米(0.79 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 兆帕(100 磅/平方英寸) 0.8 兆帕(115 磅/平方英寸) 带 O 形圈时为 100° C (212° F),不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4英寸 VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D228R2 2-117 26.4 毫米(1.03 英寸) ISO NW-16,舱壁安装与标准 ISO 舱壁夹具兼容 20.3 毫米(0.79 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 兆帕(100 磅/平方英寸) 0.8 兆帕(115 磅/平方英寸) 带 O 形圈时为 100° C (212° F),不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4英寸 VCR® 兼容公头或母头垫片密封接头或对焊接头
    WG3D25LR2 2-123 35.9 毫米(1.41 英寸) ISO NW-25,舱壁安装与标准 ISO 舱壁夹具兼容 29.8 毫米(1.17 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 兆帕(100 磅/平方英寸) 0.8 兆帕(115 磅/平方英寸) 带 O 形圈时为 100° C (212° F),不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4英寸 VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D25SR2 2-123 35.9 毫米(1.41 英寸) ISO NW-25,舱壁安装与标准 ISO 舱壁夹具兼容 29.8 毫米(1.17 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 兆帕(100 磅/平方英寸) 0.8 兆帕(115 磅/平方英寸) 带 O 形圈时为 100° C (212° F),不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4英寸 VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D3LBW2 没有任何 没有任何 没有任何 没有任何 没有任何 0.7 兆帕(100 磅/平方英寸) 0.8 兆帕(115 磅/平方英寸) 带 O 形圈时为 100° C (212° F),不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 20 毫米对焊管接头
    WG3D401R2 2-246 114.3 毫米(4.50 英寸) ISO NW-100,螺栓贯穿 122.4 毫米(4.81 英寸) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.25 兆帕(35 磅/平方英寸) 0.35 兆帕(50 磅/平方英寸) 带 O 形圈时为 100° C (212° F),不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4英寸 VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D40DR2 2-224 52.1 毫米(2.05 英寸) ISO NW-40,舱壁安装与标准 ISO 舱壁夹具兼容 44 毫米(1.73 英寸) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.3 兆帕(45 磅/平方英寸) 0.4 兆帕(60 磅/平方英寸) 带 O 形圈时为 100° C (212° F),不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4英寸 VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D40TR2 2-224 52.1 毫米(2.05 英寸) ISO NW-40,舱壁安装与标准 ISO 舱壁夹具兼容 44 毫米(1.73 英寸) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.7 兆帕(100 磅/平方英寸) 0.8 兆帕(115 磅/平方英寸) 带 O 形圈时为 100° C (212° F),不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4英寸 VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D50DR2 2-229 67.9 毫米(2.67 英寸) ISO NW-50,舱壁安装与标准 ISO 舱壁夹具兼容 59.9 毫米(2.35 英寸) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.2 兆帕(30 磅/平方英寸) 0.3 兆帕(45 磅/平方英寸) 带 O 形圈时为 100° C (212° F),不带 O 形圈时为 400° C (752° F) 1/4英寸 VCR® 兼容公垫片密封接头
    ***零件编号 WG3D401R2 包括连接器套件;P71917 螺栓和垫圈

     

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