Entegris 过滤器

 美国Entegris英特格通风式扩散器WG3D25LR2
  • 美国Entegris英特格通风式扩散器WG3D25LR2

  •  美国Entegris英特格通风式扩散器WG3D25LR2
    通过减少负载锁定和传输室中的颗粒和排气时间来提高效率和吞吐量。

    获得专利的烧结镍技术在所有应用中都能提供卓越的性能
    设计能够从大于 0.0015 μm 的进入气体中去除颗粒,从而最大限度地减少晶圆缺陷
    提供快速排气,而不会干扰晶圆或向晶圆添加颗粒,从而缩短循环时间,同时提高吞吐量
    将扩散器的流动特性与高效过滤器相结合,以提高效率和吞吐量
    轻松改装/安装到现有工具中,最大限度地减少停机时间
    应用Chambergard™ 快速通风扩散器应用
    • 向大气提供快速气体排放,而不会干扰或向腔室中的晶圆添加颗粒

    规格

    产品规格
    材料 扩散器元件:获得专利的烧结镍膜过滤器
      外壳:316L不锈钢
      内部表面光洁度:≤32 μin Ra
    性能 下游清洁度:清洁度小于 0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/英尺3) 额定流量时大于 0.01 μm
      去除等级:≥0.0015 μm
      可靠性:在 25°C (77°F) 的最大额定入口压力下具有 100,000 次循环可靠性
    连接 请参阅数据表
    作条件 请参阅数据表
    参考资料产品文档
    发表于 2023 年 11 月 1 日数据表Chambergard™ 快速通风扩散器
     
    下载PDF413.1 千兆贝
    部件号
    Chambergard™ 快速通风扩散器部件号
    部件号 O 形圈尺寸 O 形圈槽外径 出口连接类型 O 形圈凹槽 ID O 形圈凹槽深度 作条件,最大入口压力,出口真空 工作条件,最大压差 工作条件,最高工作温度 入口连接类型
    SI2P134R5 没有 没有 在线 没有 没有 0.5 MPa (75 psi) 0.24 MPa (35 psi) 100° C (212° F) 带 O 形圈,400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4“ VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D16TR2 2-117 26.4 毫米(1.03 英寸) ISO NW-16,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装 20.3 毫米(0.79 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带 O 形圈,400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4“ VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D228R2 2-117 26.4 毫米(1.03 英寸) ISO NW-16,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装 20.3 毫米(0.79 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带 O 形圈,400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4“ VCR® 兼容公头或母头垫片密封接头或对焊接头
    WG3D25LR2 2-123 35.9 毫米(1.41 英寸) ISO NW-25,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装 29.8 毫米(1.17 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带 O 形圈,400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4“ VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D25SR2 2-123 35.9 毫米(1.41 英寸) ISO NW-25,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装 29.8 毫米(1.17 英寸) 1.9 毫米(0.07 英寸) 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带 O 形圈,400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4“ VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D3LBW2 没有 没有 没有 没有 没有 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带 O 形圈,400° C (752° F) 不带 O 形圈 20 mm 对焊管短管
    WG3D401R2 2-246 114.3 毫米(4.50 英寸) ISO NW-100,螺栓贯通 122.4 毫米(4.81) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.25 MPa (35 psi) 0.35 MPa (50 psi) 100° C (212° F) 带 O 形圈,400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4“ VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D40DR2 2-224 52.1 毫米(2.05 英寸) ISO NW-40,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装 44 毫米(1.73 英寸) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.3 MPa (45 psi) 0.4 MPa (60 psi) 100° C (212° F) 带 O 形圈,400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4“ VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D40TR2 2-224 52.1 毫米(2.05 英寸) ISO NW-40,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装 44 毫米(1.73 英寸) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带 O 形圈,400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4“ VCR® 兼容公垫片密封接头
    WG3D50DR2 2-229 67.9 毫米(2.67 英寸) ISO NW-50,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装 59.9 毫米(2.35 英寸) 2.6 毫米(0.10 英寸) 0.2 MPa (30 psi) 0.3 MPa (45 psi) 100° C (212° F) 带 O 形圈,400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4“ VCR® 兼容公垫片密封接头
    部件号 WG3D401R2 包括连接器套件;P71917 螺栓和垫圈
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