Chambergard™ FV50D XL 气体扩散器
快速减少负载锁定和传输室中的颗粒和排气时间，并具有高效、坚固的镍盘膜。
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额定循环次数为 1,000,000 次，设计用于在更高的入口压力下运行
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紧凑型扩散装置中的专利烧结镍技术在所有应用中都能提供卓越的性能
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从进入的气体中去除大于 0.0015 μm 的颗粒，最大限度地减少晶圆缺陷
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易于安装/改装到现有工具中，最大限度地减少停机时间
应用Chambergard™ FV50D XL 气体扩散器应用
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向大气提供快速气体排放，而不会干扰或向腔室中的晶圆添加颗粒
规格
材料 扩散器元件 烧结镍膜过滤器
房子 316 L 不锈钢
表面处理内部 <32 微英寸 Ra
O型圈 材料 氟弹性体
大小 2-229
凹槽 ID 59.9 毫米（2.36 英寸）
凹槽外径 67.9 毫米（2.67 英寸）
凹槽深度 2.6 毫米（0.10 英寸）
连接 入口 1/4“ VCR 兼容公垫片密封接头®
出口 ISO NW50 隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容
下游清洁度 清洁度小于 0.03 颗粒/升 （< 1 颗粒/英尺3） >0.01 μm 额定流量
去除等级 >0.0015 微米
作条件 最大入口/出口压力，出口真空 4 巴（60 磅/平方英寸）
最大压差 5 巴（75 psid）
最高工作温度 100°C （212°F），带 O 形圈
400°C （752°F），无 O 形圈
保证 2年*