产品规格
材料 滤芯：NF - 专利烧结镍膜 SF - 专有烧结不锈钢膜
住宅区 SEMI® F20 316L 电抛光不锈钢
进/出水口连接 SurfaceLine 1.125" C 型密封圈
移除评级 >0.0015 微米
内表面处理 <5 μin Ra
氦气泄漏等级 合格：2 x 10 -10 cc/秒 测试结果：1 x 10 -9 cc/秒
下游清洁度 粒子* <0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/立方英尺) ≥0.01 微米
挥发性物质** 挥发性H₂O、O₂和THC的逸出量低于检测限
（室温下通过 RGA 和 FID 检测）。
颗粒截留 NF- 对所有颗粒的去除率大于 99.9999999%（以最易穿透的粒径为参考）
SF- 对所有颗粒的去除率大于 99.9999%（以最易穿透的粒径为参考）
运行条件 最大入口压力 34.5 巴 (500 psig) @ 20°C (68°F)
最大正向/反向压差 10 巴 (150 psid) @ 23°C (73°F) NF-Micro 和 SF-Micro
8 巴 (115 psid) @ 23°C (73°F) NF-Mini 和 NF-Mini XL
20 巴 (300 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度 惰性气体：400°C (752°F) @ 35 bar (500 psig)
腐蚀性和反应性气体：50°C (122°F) @ 35 bar (500 psig)
*颗粒洁净度符合SEMASPEC颗粒脱落测试方法（#93021511A-STD）的要求。
**挥发性物质洁净度符合SEMASPEC以下测试方法的要求：THC含量（#90120396B-STD）、水分含量（#90120397B-STD）、氧气含量（#90120398B-STD）。